PNP7000m/pro 高速堆叠芯片固晶设备

可实现全局±5um的高精度堆叠固晶,最高可堆叠32层芯片,按1s贴合工艺时间,最高达2200PCS/H。
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高精&高速
·±5μm@3σ XY贴装精度
·±0.07°@3σ 角度贴装精度
·UPH:2200(1s)

全自动上料
·支持华夫盒盘自动更换
·支持晶圆盘自动更换

双点胶头
·支持双点胶头

直接/并行模式
·支持直接/并行模式快速切换

MIN25μm
·机构可同时兼容PVRMS和PVMS

正装&倒装
·一键切换正倒&倒装芯片生产工艺

Specifications技术规格
项目 7000M 7000Mpro
产品定位 Flash、LPDDR、主控 Flash、LPDDR、主控、DDR
XY 贴装精度 ±5μm@3σ ±5μm@3σ
角度贴装精度 ±0.07°@3σ ±0.07°@3σ
邦头旋转角度 0~360° ±200°
效率 UPH 2200(1s)PCS/H Face-up:2200(1s)PCS/H
Face-down:1800(1s)PCS/H
邦头加热 / MAX250℃±3℃
平台加热 MAX250℃±3℃ MAX250℃±3℃
支持芯片尺寸 0.5~25mm Face-up: 0.5~25 mm
Face-down: 0.5~15 mm
支持基板尺寸 300*110mm 300*110mm
邦头力控范围 0.5N-50N 1N-70N
画胶 可选配 可选配
倒装 / 标配
芯片华夫盒上料 可选配 可选配
支持基板类型 ceramic、lead-frame、substrates
支持芯片类型 Wafer ring、Waffle pack
支持顶出方式 单顶针、多顶针、三步顶、四步顶
设备尺寸 2350mm*1400mm*1640mm 2450mm*1400mm*1640mm
设备重量 2300kg
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官方咨询热线:

(86)020-84867806
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