封装AOI系列
  • EC200 集成电路外观检测机
    2D+3D亚微米级全检,2D缺陷检测能力≥10um ,3D检测重复精度±10μm,RGB多光源组合成像
  • EC300 光模块外观检测机
    检测能力:≤3um、3D重复精度:±10um、检测效率:1200UPH、光模块垂直大模型
  • EC400系列 光芯片外观检测机
    检测能力:≥0.5um、 准确率:≥99.5%、检测效率:3-5s/pcs、光芯片垂直大模型
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