高速+高精度
大理石框架+直线电机+线阵相机
适用产品
适用于LTCC/HTCC/MLCC等烧结前的生瓷带
有效检测范围
最大支持500mm(可根据客户需求定制)
产品导入
支持DXF/DWG/GBR图纸多图层导入or合格品匹配
检测内容
印刷图案的缺陷检测、已填孔或未填孔的孔位缺陷检测、图形尺寸测量、厚度测量等
2D尺寸测量相机
标配:16K黑白线阵相机
2D尺寸测量精度
最小重复精度±1um(根据所选相机精度会有所不同)
2D缺陷检测精度
最小可识别精度≥5um(根据所选相机精度会有所不同)
3D厚度测量精度
最小重复精度±50nm
3D缺陷检测精度
最小可识别精度≥10um(根据所选相机精度会有所不同)
可扩展功能
可配备批次/工单/产品等扫码,及字符OCR识别功能
可扩展功能
可增加料仓组件+运动模组or机械手,实现全自动上下料
可扩展功能
可选配离线软件分析功能,对缺陷分布进行统计分析,提供工艺改进引导
像素精度
1.75μm-7μm
尺寸测量 重复精度
±2μm-±7μm
最小缺陷 检出精度
5μm-30μm
视野宽度
28mm-114mm
UPH (以200*200mm产品为例)
20-180
单片拍摄速度 (以200*200mm产品为例)
131s-12s
视觉算法
多图层算法独立设置容差+视觉AI深度学习缺陷分类
不良品标记
喷墨打点or激光打标or图形报告
数据储存
检测数据实时监控、数据保存及数据统计功能
检测性能
漏检率=0%